分子泵维修与日常维护

1.更换润滑油

1.1涡轮分子泵

新泵初次运行1000小时后，即应更换润滑油；

通常，经过初次换油后，正常运行的泵一年换油一次；

更换润滑油方法:

泵体上下轴承处，各有一个注油孔和个出油孔，将两个注油孔(位置偏上)和两个出油孔(位置偏下)螺打卸下，水平搁置泵，使注油孔朝上,用注射器将大约2x6m1的油分别主入两个油孔内，从另一侧流出的油不得再用，将4个M5油孔专用螺钉拧好，甩吸油纸吸净泵壳上残余的油，即完成润滑油更换。

警告:

安装油孔爆钉时， 注意螺钉上的黑色O形密封圈应拧紧、压实、避免漏气。

1.2口径大于等于160的泵

新泵初次运行1000小时后，即应更换润滑油;

常规运行中，分子泵一年内运行时间少于4000小时的，一年更换一次；一年内运行时间多于 4000小时的，每运行 4000小时必须换油一次。

如果泵经常烘拷成大负载工作或励儒预，观察到润滑油漫浊或明显变色.则需立即更換润滑油。

更换润滑油的方法:

1）松开泵底部紧固由池的固定螺钉，取下油池, 倒出油池内的废油；

2）使用中性洗涤剂刷洗油池， 注意要将杂质和污物清理干净， 然后擦干(充分療干，不能留有水珠) ;

         3）重新注油方法与新泵注油方法相同。

         警告:

更换下来废弃的润滑油按当地法律法规处理。

脂润滑型分子泵终生不需要更换润滑脂，如果抽承出现问题只能返厂维修 ！

3、清洗泵

如果排除真空系统漏气或真空控体亏染严重等原因.在对泵长时间烘烤后仍不能灰复其真空性能，则断定泵已被污染，必须对泵进行清洗。

分子泵只能由泰诺或泰诺指定的维修中心专业人员拆泵和清流。

4、轴承更换

合格的分子泵出厂前都经过专门仪器的整机动平衡校验.更换轴承后需要重新校动平衡，因上只能由泰诺公司或泰诺指定的维修

中心来完成，严禁用户未经授权私自拆泵。

警告:

更换下来的报废器件以及废弃清洗液按当地法律法规处理，

5、从真空系统上拆泵

当泵出现故障而必须以系统上将泵拆下来时，应:

确定泵处在停机状态，内外气压平衡 ;

如果真抽除的是腐蚀性气体，确认真空腔，泵体内、前级管道内属性性气体已被充分冲洗干净，泵内沉积物同样对人体有害，必要时，拆卸人员应戴防毒面具、戴手套。泵卸下后，应尽快除去沉积物，以防上沉起物与潮湿空气反应生成挥发物或对泵有腐蚀的酸、碱等。

泵卸下后，应立即用封闭的塑料袋包装起来。